微透镜阵列

        无锡奥普顿光电子有限公司已研发和生产的全石英材料或全PC塑料微透镜阵列，微透镜直径从1微米到1000微米，矢高从0.6微米到60微米，对应的微透镜在可见光波长下焦距从亚微米到数千微米，微透镜形状包括正方形和正六边形。根据客户需要，我们可以定制上述参数范围以外的微透镜阵列。

       微透镜阵列既可用于激光分束，也可以用于激光匀束。在介绍我们的微透镜阵列产品之前，我们先比较平顶整形和匀束的四种方案，这四种方案分别是平顶光束整形[flat-top beam shaping,亦称为top-hat beam shaping, 或super-Gaussian(超高斯) beam shaping]，无暗斑匀束元件，漫射扩散器（diffuser)匀束以及微透镜阵列匀束。

        平顶光束整形的使用条件比较苛刻，要求激光的光束质量好，衍射光学元件必须放在激光束特定的位置，激光束落在衍射光学元件的尺寸必须比较准确。如果这些条件都满足，则使用效果良好。

        无暗斑匀束元件和漫射扩散器的使用条件则比平顶光束宽松得多。漫射扩散器允许很差的入射激光光束质量，可以在任意位置使用，激光束落在漫射扩散器尺寸对使用效果的影响也很小，可以在很长距离内得到匀束的效果。对于高功率的激光材料加工，我们推荐使用漫射扩散器匀束方案。无暗斑匀束元件和漫射扩散元件的区别在于前者的输出光束中没有明显的暗斑(speckles)，而后者在输出光束中存在暗斑(speckles)。

        微透镜阵列用于匀束的的优点是可用于宽广的波长范围，以及匀束后的输出光束的中央没有很亮零级。 

微折射透镜和微衍射透镜 

无锡奥普顿光电子制造的微透镜阵列在焦平面的焦斑，我们可以看到焦斑非常清晰，杂斑很少

无锡奥普顿光电子制造的100x100微米微透镜阵列。填充因子100%，焦距549微米

无锡奥普顿光电子制造的150x150微米微透镜阵列。填充因子100%，焦距1500微米

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无锡奥普顿光电子制造的250微米微透镜阵列的表面轮廓。其中的离散黑点为理想的球面轮廓。微透镜表面轮廓的不对称是由于表面轮廓仪探针测量误差所引起（表面轮廓仪可以精确地测量高度差，但是在测量连续的微透镜表面轮廓时会有一定误差）。微透镜轮廓顶点处的曲率半径为547微米，二次曲线常数(conic constant)约为0.5。

无锡奥普顿光电子制造的14微米微透镜阵列的原子力显微镜照片。微透镜表面轮廓的不对称是由于原子力显微镜探针测量误差所引起（原子力显微镜可以精确地测量高度差，但是在测量连续的微透镜表面轮廓时会有一定误差）

产品编号	微透镜类型	微透镜尺寸 （微米）	微透镜数目	单片尺寸 (毫米）	曲率半径（微米）	有效焦距  (微米)	后焦距  (微米)	焦距一致性
MLA-R14	圆形	Φ14			7~15	12~36	- 400 ~  - 375	<+/-5%
MLA-S14	正方形	14x14			7~15	12~36	- 400 ~  - 375
MLA-S25	正方形	25x25	248x184	6.2x4.6	~17	~37	- 374
MLA-S80	正方形	80x80	625x625	50x50	~58	~120	- 290
MLA-S96	正方形	96x96	105x210	10x20	1440	~ 3000	~2500
MLA-S120	正方形	120x120	83x126	10x20	2250	~ 5000	~ 4200
MLA-R150	圆形	Φ150	32x32	4.8x4.8	200~690	450~1500	+ 40 ~ + 1090
MLA-R150-170 内部编号：120 2016.11.1.新到	圆形	Φ150	148x148	22.2x22.2	170	170	- 240
MLA-R150-138 内部编号：120 2016.11.1.新到	圆形	Φ150	148x148	22.2x22.2	138	138	- 270
MLA-S150	正方形	150x150	32x32	4.8x4.8	> 690	> 1500	~ +1090
MLA-R250	圆形	Φ250	24x24	6x6	> 547	> 1000	~ +590
MLA-R400-f10000	圆形	Φ400	17x17	14x14	4570	10,000	+ 9600
MLA-R400-f13500	圆形	Φ400	17x17	14x14	6091	13500	+13100
MLA-H50-43.3	正六边形	50x43.3			28.33 （高15微米）	~62
MLA-R825-f13000	圆形	Φ825	17x17			13000	~+12600