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微透镜阵列

        无锡奥普顿光电子有限公司已研发和生产的全石英材料或全PC塑料微透镜阵列,微透镜直径从10微米到250微米,矢高从0.6微米到15微米,对应的微透镜在可见光波长下焦距从80微米到1500微米,微透镜形状包括正方形和正六边形。根据客户需要,我们可以定制上述参数范围以外的微透镜阵列。

       微透镜阵列既可用于激光分束,也可以用于激光匀束。在介绍我们的微透镜阵列产品之前,我们先比较平顶整形和匀束的四种方案,这四种方案分别是平顶光束整形[flat-top beam shaping,亦称为top-hat beam shaping, super-Gaussian(超高斯) beam shaping]无暗斑匀束元件,漫射扩散器(diffuser)匀束以及微透镜阵列匀束。

        平顶光束整形使用条件比较苛刻,要求激光的光束质量好,衍射光学元件必须放在激光束特定的位置,激光束落在衍射光学元件的尺寸必须比较准确。如果这些条件都满足,则使用效果良好

        无暗斑匀束元件和漫射扩散器的使用条件则比平顶光束宽松得多。漫射扩散器允许很差的入射激光光束质量,可以在任意位置使用,激光束落在漫射扩散器尺寸对使用效果的影响也很小,可以在很长距离内得到匀束的效果。对于高功率的激光材料加工,我们推荐使用漫射扩散器匀束方案。无暗斑匀束元件和漫射扩散元件的区别在于前者的输出光束中没有明显的暗斑(speckles),而后者在输出光束中存在暗斑(speckles)。

        微透镜阵列用于匀束的的优点是可用于宽广的波长范围,以及匀束后的输出光束的中央没有很亮零级。 

微透镜阵列

微折射透镜和微衍射透镜 

10x10微米微透镜阵列在焦平面的焦斑

无锡奥普顿光电子制造的微透镜阵列在焦平面的焦斑,我们可以看到焦斑非常清晰,杂斑很少

无锡奥普顿光电子制造的150x150微米微透镜阵列

无锡奥普顿光电子制造的150x150微米微透镜阵列。填充因子100%,焦距1500微米

250微米微透镜阵列的表面轮廓

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250微米微透镜阵列的表面轮廓

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250微米微透镜阵列的表面轮廓

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无锡奥普顿光电子制造的250微米微透镜阵列的表面轮廓。其中的离散黑点为理想的球面轮廓。微透镜表面轮廓的不对称是由于表面轮廓仪探针测量误差所引起(表面轮廓仪可以精确地测量高度差,但是在测量连续的微透镜表面轮廓时会有一定误差)。微透镜轮廓顶点处的曲率半径为547微米,二次曲线常数(conic constant)约为0.5。

14微米微透镜阵列的原子力显微镜照片

14微米微透镜阵列的原子力显微镜照片

无锡奥普顿光电子制造的14微米微透镜阵列的原子力显微镜照片。微透镜表面轮廓的不对称是由于原子力显微镜探针测量误差所引起(原子力显微镜可以精确地测量高度差,但是在测量连续的微透镜表面轮廓时会有一定误差)


石英材料,光明D-ZF93全PC塑料,或石英基底PC涂层的微透镜阵列参数:

产品编号 微透镜类型 微透镜尺寸
(微米)
微透镜数目 单片尺寸 (毫米) 曲率半径(微米) 焦距
 (微米)
焦距
 (微米)
焦距一致性
MLA-R14 Φ14   7~15 12~36   <+/-5%
MLA-S14 正方形 14x14     7~15 12~36  

MLA
-S25
正方形 25x25 248x184 6.2x4.6 ~17 ~37 - 374
MLA-S80 正方形 80x80 625x625 50x50 ~58 ~120  
MLA-R150 Φ150 32x32 4.8x4.8 200~690 450~1500  

MLA-R150-170
内部编号:120
2016.11.1.新到

材料
D-ZF93
Φ150 148x148 22.2x22.2 170 170  

MLA-R150-138
内部编号:120
2016.11.1.新到

材料D-ZF93
Φ150 148x148 22.2x22.2 138 138  
MLA-S150 正方形 150x150 32x32 4.8x4.8 > 690 > 1500  
MLA-R250 Φ250 24x24 6x6 > 547 > 1000  
MLA-S250 正方形 250x250 24x24 6x6 547 ~ 1000  
MLA-H50-43.3 正六边形 50x43.3     28.33
(高15微米)
~62  

对入射光斑尺寸和光束质量不敏感的无暗斑匀束元件

入射光束为高斯分布的平顶整形元件  (2012年9月10日新到2080nm平顶整形)

漫射扩散元件(匀束器)

微透镜阵列 

图像生成(一般光束整形)衍射元件

激光分束元件

线条衍射元件

用于光栅尺的光栅

全息键盘用衍射光学元件

体感游戏和手势识别用激光散斑衍射光学元件

用于红外探测器的菲涅尔透镜

其他定制衍射光学元件

位图文件(BMP)转化成GDSII/CIF/DXF格式

常见问题

微纳折射与衍射光学元件产品目录(PDF格式)(2014年3月7日更新)

微纳折射与衍射光学元件产品目录(PDF格式)(2013年6月26日更新)

微纳折射与衍射光学元件产品目录(PDF格式)( 英文版,2013年7月4日更新)

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